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UNHT3 HTV高温超纳米压痕测试仪

UNHT3 HTV高温超纳米压痕测试仪

薄膜和涂层硬度和弹性模量测量仪|安东帕压痕仪|UNHT3 HTV高温超纳米压痕测试仪仪器简介：
高温纳米压痕测试仪是测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统，温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。UNHT技术与加热功能结合，可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。
薄膜和涂层硬度和弹性模量测量仪|安东帕压痕仪|UNHT3 HTV高温超纳米压痕测试仪主要特点：
●环境条件下低热漂移 (< 0.5 nm/min) 和整个温度范围内低热漂移 (< 3 nm/min)。
●高载荷框架刚度 (>>106 N/m) 和低框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合，可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。

●高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，使振动降至z*低。

●独特的加热控制系统（3 项ZL待批），采用3 个红外 (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，以及 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1°C 内。

●符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 国际标准

薄膜和涂层硬度和弹性模量测量仪|安东帕压痕仪|UNHT3 HTV高温超纳米压痕测试仪技术指标：

载荷

z*大载荷

100 mN

载荷分辨率

6 nN

本底噪音

0.5 [rms] [μN]*

位移

z*大位移

100 μm

位移分辨率

0.003 nm

本底噪音

0.15 [rms] [nm]*


J*限真空度

10⁷ mBar

z*高温度

800 °C

*理想实验室条件下规定的本底噪音值，并使用减震台。